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產(chǎn)品中心

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充氮烤箱

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產(chǎn)品描述
參數(shù)

晶圓和框架類產(chǎn)品烘箱;

Product Description: oven for wafer and frame products;

提供不同尺寸內(nèi)腔,雙腔/四腔/六腔類型設(shè)備;

Provide different sizes of cavity, double cavity / four cavity / six cavity type equipment;

根據(jù)客戶工藝需求,可選內(nèi)腔水冷配置;

According to the process requirements of customers, the inner cavity water cooling configuration can be selected;

支持SECS/GEM自動聯(lián)機需求;

Support SECS/GEM automatic online requirements;

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未找到相應(yīng)參數(shù)組,請于后臺屬性模板中添加

含氧量: <200/500PPM;

溫度范圍: +60~ +350°C;

Temperature range:+ 60 ° C ~ + 350 ° C;

溫度均勻度:±2% (空載) ;

Temperature uniformity: ± 2% (no load);

升溫速度:常溫~+300°C,升溫速率 > 6°C/min;

Heating rate: room temperature ~ + 300 ° C, heating rate > 6 ° C / min;

降溫速度:降溫斜率可設(shè)定;

Cooling rate:cooling slope can be set;

溫度過沖:<5℃@300℃;

Temperature overshoot: < 3 ℃ @ 300 ℃;

溫控精度:±1°C (空載);

Temperature control accuracy: ± 1 ° C (no load);

烘箱擱板為活動式,共兩片, 擱板承重≥20kg;

The drying oven shelf is movable, with two pieces in total, and the shelf load is more than or equal to 20kg;

加熱功率: 8KW (單腔);

Heating power: 8kW (single chamber);

地址:上海市浦東新區(qū)張楊路2389弄3號樓普洛斯大廈768室      電話:+86 13761002245      郵箱: xiwang@amsemi.com

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